压电薄膜传感器论文

激光分子束外延及其在ZnO薄膜制备中的应用

一、激光分子束外延技术及其在氧化锌薄膜制备中的应用（论文文献综述）刘永[1]（2021）在《共溅射沉积MgZnO合金薄膜及其光电性质研究》文中提出氧化锌作为第三代半导体材料,以...
大排量 RAINBOW 型陶瓷驱动器（英文）

一、大位移RAINBOW型陶瓷驱动器(英文)（论文文献综述）殷瑞峰[1]（2020）在《一种三自由度主动隔振系统设计与性能仿真》文中研究说明智能制造过程中,需要对外界特征快速感...